Подложка SrTiO3
Описание
Монокристалл SrTiO3 имеет хорошую структуру решетки материала со структурой перовскита.Это превосходный материал подложки для эпитаксии ВТС и большинства оксидных пленок.Он широко использовался при исследовании тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника.Он также широко используется в специальных оптических окнах и высококачественных мишенях для распыления.
Характеристики
Ориентация: (100) +/-0,5 град.
Индикация ориентации края: <001> +/-2 градуса доступно в качестве опции за дополнительную плату.
Полировка: одна сторона EPI полируется по технологии CMP с меньшим повреждением подповерхностной решетки.
Упаковка: Упаковано в полиэтиленовый пакет класса 100 под чистую комнату класса 1000.
| Кристальная структура | Кубический, а=3,905 А |
| Метод роста | Вернуил |
| Плотность (г/см)3） | 5.175 |
| Точка плавления (℃) | 2080 год |
| Твердость (Мхо) | 6 |
| Тепловое расширение | 10,4 (х10-6/ ℃) |
| Диэлектрическая постоянная | ~ 300 |
| Тангенс потерь на частоте 10 ГГц | ~5x10-4@ 300К, ~3 x10-4@77K |
| Цвет и внешний вид | Прозрачный (иногда слегка коричневый в зависимости от условий отжига). Двойников нет. |
| Химическая стабильность | Нерастворим в воде |
Определение субстрата SrTiO3
Подложка SrTiO3 представляет собой кристаллическую подложку, изготовленную из соединения титаната стронция (SrTiO3).SrTiO3 — перовскитный материал с кубической кристаллической структурой, который характеризуется высокой диэлектрической проницаемостью, высокой термической стабильностью и хорошим согласованием решетки со многими другими материалами.
Подложки SrTiO3 широко используются в области осаждения тонких пленок и эпитаксиального выращивания.Кубическая структура SrTiO3 позволяет выращивать высококачественные тонкие пленки с превосходным кристаллическим качеством и низкой плотностью дефектов.Это делает подложки SrTiO3 очень подходящими для выращивания эпитаксиальных пленок и гетероструктур различного назначения.
Высокая диэлектрическая проницаемость SrTiO3 делает его пригодным для таких применений, как конденсаторы, запоминающие устройства и тонкие сегнетоэлектрические пленки.Термическая стабильность делает его пригодным для применения при высоких температурах.
Кроме того, разнообразные свойства SrTiO3, такие как его металлическая проводимость при низких температурах и возможность создания сверхпроводящего состояния, делают его полезным для исследований в области физики конденсированного состояния и разработки электронных и оптоэлектронных устройств.
Таким образом, подложки SrTiO3 представляют собой кристаллические подложки из титаната стронция, которые обычно используются при осаждении тонких пленок, эпитаксиальном росте и широком спектре электронных и оптоэлектронных приложений из-за их высокой диэлектрической проницаемости, термической стабильности и хороших свойств согласования решетки.
