Субстрат MgF2
Описание
MgF2 используется в качестве линзы, призмы и окна для длин волн от 110 нм до 7,5 мкм.Это наиболее подходящий материал в качестве окна для эксимерного лазера ArF из-за его хорошего пропускания на длине волны 193 нм.Он также эффективен в качестве оптического поляризатора в ультрафиолетовой области.
Характеристики
| Плотность (г/см)3） | 3.18 |
| Точка плавления (℃) | 1255 |
| Теплопроводность | 0,3 Втм-1К-1 при 300К |
| Тепловое расширение | 13,7 x 10-6 /℃ параллельная ось С 8,9 x 10-6 /℃ перпендикулярно оси C |
| Твердость по Кнупу | 415 с индентором 100 г (кг/мм2) |
| Удельная теплоемкость | 1003 Дж/(кг.к) |
| Диэлектрическая постоянная | 1,87 при частоте 1 МГц, параллельная ось c 1,45 при частоте 1 МГц перпендикулярно оси c |
| Модуль Юнга (E) | 138,5 ГПа |
| Модуль сдвига (G) | 54,66 ГПа |
| Объемный модуль (К) | 101,32 ГПа |
| Эластичный коэффициент | С11=164;С12=53;С44=33,7 С13=63;С66=96 |
| Видимый предел упругости | 49,6 МПа (7200 фунтов на квадратный дюйм) |
| Коэффициент Пуассона | 0,276 |
Определение субстрата MgF2
Подложка MgF2 относится к подложке, изготовленной из кристаллического материала фторида магния (MgF2).MgF2 — неорганическое соединение, состоящее из элементов магния (Mg) и фтора (F).
Подложки MgF2 обладают несколькими примечательными свойствами, которые делают их популярными в различных приложениях, особенно в области оптики и нанесения тонких пленок:
1. Высокая прозрачность: MgF2 обладает превосходной прозрачностью в ультрафиолетовой (УФ), видимой и инфракрасной (ИК) областях электромагнитного спектра.Он имеет широкий диапазон пропускания от ультрафиолета (около 115 нм) до инфракрасного (около 7500 нм).
2. Низкий показатель преломления: MgF2 имеет относительно низкий показатель преломления, что делает его идеальным материалом для просветляющих покрытий и оптики, поскольку он сводит к минимуму нежелательные отражения и улучшает светопропускание.
3. Низкое поглощение: MgF2 обладает низким поглощением в ультрафиолетовой и видимой областях спектра.Это свойство делает его полезным в приложениях, требующих высокой оптической прозрачности, таких как линзы, призмы и окна для ультрафиолетовых или видимых лучей.
4. Химическая стабильность: MgF2 химически стабилен, устойчив к широкому спектру химикатов и сохраняет свои оптические и физические свойства в широком диапазоне условий окружающей среды.
5. Термическая стабильность: MgF2 имеет высокую температуру плавления и может выдерживать высокие рабочие температуры без существенного ухудшения качества.
Подложки MgF2 обычно используются в оптических покрытиях, процессах осаждения тонких пленок, а также в оптических окнах или линзах в различных устройствах и системах.Они также могут служить буферными слоями или шаблонами для выращивания других тонких пленок, таких как полупроводниковые материалы или металлические покрытия.
Эти подложки обычно производятся с использованием таких методов, как осаждение из паровой фазы или методы физического переноса паров, при которых материал MgF2 осаждается на подходящий материал подложки или выращивается в виде монокристалла.В зависимости от требований применения подложки могут иметь форму пластин, пластин или нестандартных форм.
